공정·레시피
Process · Step · Recipe (버전 관리) · Mask Set
활성 공정
6
개
전체 6 개 중
활성 레시피
6
건
전체 6 건 중
결재 대기 레시피
0
건
대기 없음
마스크 교체 임박
0
장
안정
전체 자산
20
공정 6 · 레시피 6 · 마스크 8
L-24
RC-24-L01-P
v1.0
ACTIVE
L-24 L01 Photo Recipe
PR-24-LG
L1·S1 L01-Photo
exposure_ms
180
focus_offset_nm
0
이력 1
결재 없음
L-18
RC-18-L01-P
v1.0
ACTIVE
L-18 L01 Photo Recipe
PR-18-LG
L1·S1 L01-Photo
exposure_ms
195
focus_offset_nm
0
이력 1
결재 없음
L-16
RC-16-L01-P
v1.2
ACTIVE
L-16 L01 Photo Recipe
PR-16-FF
L1·S1 L01-Photo
exposure_ms
230
focus_offset_nm
-2
이력 2
결재 없음
L-12
RC-12-L01-P
v1.5
ACTIVE
L-12 L01 Photo Recipe
PR-12-FF
L1·S1 L01-Photo
exposure_ms
280
focus_offset_nm
-3
이력 2
결재 없음
L-10
RC-10-L01-P
v2.0
ACTIVE
L-10 L01 Photo Recipe
PR-10-HP
L1·S1 L01-Photo
exposure_ms
320
focus_offset_nm
-5
이력 2
결재 없음
L-08
RC-08-L01-P
v1.0
ACTIVE
L-08 L01 EUV Photo Recipe
PR-08-GAA
L1·S1 L01-EUV-Photo
exposure_ms
360
focus_offset_nm
-7
mask_id
55
+1
이력 1
결재 없음