장비

Stepper · Etcher · CMP · Implanter · Furnace · Probe — PM 자동 룰 + Calibration + Recipe 자격
가동률
76.3 %
RUN 29 / 전체 38
DOWN 장비
1 대
WARN 상태 2대
PM 임박
3 건
72시간 이내 예정
PM 초과
0 건
모두 일정 내
전체 장비
38 대
IDLE 5 · CAL 0 · PM 1
전체 RUN 29 IDLE 5 WARN 2 DOWN 1 PM 1
EQ-C05
CMP #05
RUN
L-08 CMP Applied Materials
다음 PM 07/16 21:57 D-20
EQ-E09
Etcher #09
RUN
L-08 Etcher Lam Research
다음 PM 07/19 19:57 D-23
EQ-E10
Etcher #10
WARN
L-08 Etcher Lam Research
다음 PM 06/27 17:57 D-1
EQ-F05
Furnace #05
RUN
L-08 Furnace Tokyo Electron
다음 PM 07/18 13:57 D-22
EQ-I05
Implanter #05
RUN
L-08 Implanter Applied Materials
다음 PM 07/16 01:57 D-19
EQ-P05
Probe #05
IDLE
L-08 Probe Applied Materials
다음 PM 07/04 09:57 D-8
EQ-S07
EUV Stepper #07
RUN
L-08 Stepper ASML
다음 PM 07/22 17:57 D-26
EQ-S08
EUV Stepper #08
RUN
L-08 Stepper ASML
다음 PM 07/21 21:57 D-25