PR-10-HP L-10 HP 26-layer ACTIVE

L-10 · 10nm 26 layers 표준 사이클타임 960.0h 버전 1.0 작성 배시니어
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평균 수율
88.00 %
2건 측정 평균
사이클타임
960.0 h
표준 기준
Step / Layer
2 / 26
전체 공정 단계
활성 레시피
1 / 1
전체 1종 중
In-Spec
-
측정 0건
수율 추이 (최근 2건) target ≥ 95%
100 97 93 90 86 95% target RC-10-L01-P · L-1001-049187.78% (316/360) 2026-06-16 23:57:06 06-16 RC-10-L01-P · L-1000-049488.22% (322/365) 2026-06-19 01:57:56 06-19
장비 타입 분포 2개 step 기준
Etcher: 1개 (50%) Stepper: 1개 (50%) 2 TYPES
  • Etcher 1 50%
  • Stepper 1 50%
Layer 별 시간 · 수율
L1
113.0m
2 step 98.95%
Process Step (2)
LS이름장비시간수율
1 1 L01-Photo Stepper 68.0m 99.10%
1 2 L01-Etch Etcher 45.0m 98.80%
레시피 (1)
코드Step버전상태
RC-10-L01-P L01-Photo 2.0 ACTIVE