PR-12-FF L-12 FinFET 22-layer ACTIVE

L-12 · 12nm 22 layers 표준 사이클타임 840.0h 버전 1.0 작성 윤시니어
목록
평균 수율
91.77 %
2건 측정 평균
사이클타임
840.0 h
표준 기준
Step / Layer
2 / 22
전체 공정 단계
활성 레시피
1 / 1
전체 1종 중
In-Spec
100.0 %
측정 2건
수율 추이 (최근 2건) target ≥ 95%
100 97 94 91 88 95% target RC-12-L01-P · L-1201-039191.58% (348/380) 2026-06-17 23:57:06 06-17 RC-12-L01-P · L-1200-039491.95% (354/385) 2026-06-20 01:57:56 06-20
장비 타입 분포 2개 step 기준
Etcher: 1개 (50%) Stepper: 1개 (50%) 2 TYPES
  • Etcher 1 50%
  • Stepper 1 50%
Layer 별 시간 · 수율
L1
102.0m
2 step 99.10%
Process Step (2)
LS이름장비시간수율
1 1 L01-Photo Stepper 60.0m 99.20%
1 2 L01-Etch Etcher 42.0m 99.00%
레시피 (1)
코드Step버전상태
RC-12-L01-P L01-Photo 1.5 ACTIVE