PR-18-LG L-18 Logic 14-layer ACTIVE

L-18 · 18nm 14 layers 표준 사이클타임 520.0h 버전 1.0 작성 윤시니어

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평균 수율

96.08 %

2건 측정 평균

사이클타임

520.0 h

표준 기준

Step / Layer

2 / 14

전체 공정 단계

활성 레시피

1 / 1

전체 1종 중

In-Spec

-

측정 0건

수율 추이 (최근 2건) target ≥ 95%

장비 타입 분포 2개 step 기준

Etcher 1 50%
Stepper 1 50%

Layer 별 시간 · 수율

L1

80.0m

2 step 99.30%

Process Step (2)

L	S	이름	장비	시간	수율
1	1	L01-Photo	Stepper	48.0m	99.40%
1	2	L01-Etch	Etcher	32.0m	99.20%

레시피 (1)

코드	Step	버전	상태
RC-18-L01-P	L01-Photo	1.0	ACTIVE