EQ-S06 Stepper #06 IDLE
L-10 · 10nm
Stepper
제조사 ASML
설치 2025-02-15
장비 상태
IDLE
대기 중
다음 PM
D-28
07/24 21:57
Recipe 자격
0
/0
qualified 상태
최근 Cal 결과
-
이력 없음
예약 대기
0
건
가동 496일
PM / Cal 스케줄
| 유형 | 주기 | 마지막 | 다음 |
|---|---|---|---|
| PM | 720 hours | 06/24 | 07/24 21:57 D-28 |
Calibration 이력
이력 없음
Recipe 자격 (0)
자격 등록 없음
상태 변경 이력
이력 없음
예약 / 유지보수
예약 / 정비 없음